Subcommittee1-Materials

Number： 7   

Subcommittee2-PTM

Number： 5   

Subcommittee3-SemiDevices

Number： 6   

Subcommittee4-PED

Number： 13   

Subcommittee5-ModSim

Number： 14   

Subcommittee6-Reliability

Number： 10   

Subcommittee7-PHI

Number： 4   

Subcommittee8-YM

Number： 3   

Subcommittee9-Memory

Number： 8   

Subcommittee10-SMB

Number： 13   

Subcommittee11-PID

Number： 4   

Subcommittee12-FWE

Number： 6   

Subcommittee13-Nanotech

Number： 6   

Subcommittee14-Disruptive

Number： 14